Bronkhorst與 Veco Precision一起致力開發(fā)Bronkhorst核心部件之一：層流元件。層流元件是Bronkhorst流量計的機械心臟。為什么說層流元件是流量計的關鍵部件呢？

熱式質(zhì)量流量計

熱式質(zhì)量流量計測量氣體的質(zhì)量流量，采用加熱元件和溫度傳感器的組合，使用熱力學原理推導實際流量。溫度、壓力或密度變化需要少量校正并且很準確，尤其是在測量小流量時。

層流元件-核心部件

圖1 所示層流元件是基于旁路原理的熱式質(zhì)量流量計的核心部件。層流元件(LFE)的功能是產(chǎn)生分流。對于基于旁路原理的熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量在主流道的旁路中測量。由于LFE的特定尺寸，可以產(chǎn)生與毛細傳感器管相同的線性壓力/流量特性。

Veco Precision 蝕刻的薄堆疊板用于創(chuàng)建層流元件，可測量非常小到中等大小流量(< 1 mln/min 到20 ln/min)。旁路是內(nèi)徑0.2mm的毛細管，可滿足快速響應和低耗能要求，因為只需要加熱一小部分管道。

化學蝕刻金屬零部件工藝

為了創(chuàng)造行業(yè)產(chǎn)品，制造商須實現(xiàn)產(chǎn)品的小型化，從而實現(xiàn)組件的小型化。對于層流元件中的流盤，我們采用了化學蝕刻工藝，這是一種微精密零件的制造方法。

化學蝕刻

化學蝕刻（也稱光化學加工和化學銑削）既快速又經(jīng)濟，精度也很高。無需高昂的工具或機械，即可生產(chǎn)復雜、多層次、多功能、高精度的零件。相較“傳統(tǒng)”機器工藝（如CNC加工、沖壓、金屬絲腐蝕）以及“更現(xiàn)代”的工藝（如激光切割和電化學加工），化學蝕刻具有靈活性和可擴展性，提供了從原型機到大規(guī)模生產(chǎn)的具有競爭力的替代方案?？焖僭涂稍趲滋靸?nèi)根據(jù)圖紙生產(chǎn)出來。

主要優(yōu)勢

• 無應力和毛刺零件
• 微米尺寸
• 嚴格公差
• 應用材料廣泛
• 厚度從25um到2mm
• 圓孔、銳邊、直邊或異形邊
• 快速成型
• 制造成本效應
• 靈活性，便于修改

氣體流量測量

流量測量同溫度、壓力和液位測量一樣被視為“需要知道”的工藝參數(shù)之一。準確的氣體質(zhì)量流量測量對于許多工業(yè)和實驗室過程的操作和控制至關重要。

EL-FLOW Prestige質(zhì)量流量計

EL-FLOW Prestige?氣體熱式質(zhì)量流量計是下一代Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計/控制器。幾乎所有的核心部件都經(jīng)過了重新設計，升級和改進。Bronkhorst在該系列引入了“溫差平衡”技術，確保良好的傳感器穩(wěn)定性。