半導體和LED照明產業(yè)
最初,熱式質量流量計和控制器是在1970年代為半導體制造過程中的氣相沉積而開發(fā)的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進新的更好產品的需要,Bronkhorst成為半導體、平板顯示器和LED行業(yè)的主要供應商。針對化學氣相沉積(CVD)、平板顯示器噴涂(FPD)和原子層沉積(ALD)工藝,Bronkhorst可為直接液體注入系統(tǒng)提供金屬密封流量儀表。 |
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應用案例
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最初,熱式質量流量計和控制器是在1970年代為半導體制造過程中的氣相沉積而開發(fā)的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進新的更好產品的需要,Bronkhorst成為半導體、平板顯示器和LED行業(yè)的主要供應商。針對化學氣相沉積(CVD)、平板顯示器噴涂(FPD)和原子層沉積(ALD)工藝,Bronkhorst可為直接液體注入系統(tǒng)提供金屬密封流量儀表。 |
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