香蕉视频污版_香蕉视频下载链接_下载香蕉视频_香蕉视频APP成人

Menu

半導體和LED照明產業(yè)

最初,熱式質量流量計和控制器是在1970年代為半導體制造過程中的氣相沉積而開發(fā)的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進新的更好產品的需要,Bronkhorst成為半導體、平板顯示器和LED行業(yè)的主要供應商。針對化學氣相沉積(CVD)、平板顯示器噴涂(FPD)和原子層沉積(ALD)工藝,Bronkhorst可為直接液體注入系統(tǒng)提供金屬密封流量儀表。

應用案例

  • 切割(激光)前在晶片上沉積保護層
  • 金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)
  • 原子層沉積(ALD)
  • 超臨界流體定量給料和控制(如超臨界二氧化碳清洗)
  • 平板顯示器(FPD)噴涂

應用案例

流量控制 | MOCVD

流量控制對MOCVD應用很重要。流量控制如何幫助Bronkhorst客戶(TV制造商)提高LED產品質量?

查看應用說明

MOCVD 過程中的流量控制
在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行氮氣吹掃

在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行氮氣吹掃

目前技術要求在生產過程中對氣體進行更好的流量控制,以提高產量并降低這些氣體的使用成本。

查看應用說明

超臨界氣體測量與控制

當流體例如二氧化碳(CO2)在氣液兩相臨界區(qū)域處,難以測量它們的流量。建議使用科里奧利質量流量計。

查看應用說明

超臨界氣體測量與控制